8月28日晚，來自遼寧省的兩家半導(dǎo)體裝備類上市公司--拓荊科技(688072)、芯源微(688037)雙雙披露2023年半年報，兩家公司的營業(yè)收入和凈利潤均實現(xiàn)增長。

據(jù)芯源微半年報，報告期內(nèi)，公司實現(xiàn)營業(yè)收入6.96億元，同比增長37.95%；實現(xiàn)凈利潤1.36億元，同比增長95.48%；基本每股收益0.99元。

芯源微作為國內(nèi)唯一可以提供量產(chǎn)型前道涂膠顯影機的廠商，經(jīng)過長期的技術(shù)積累和在客戶端的驗證及量產(chǎn)應(yīng)用，目前已完成在前道晶圓加工環(huán)節(jié)28nm及以上工藝節(jié)點的全覆蓋，并可持續(xù)向更高工藝等級迭代。芯源微今年上半年營業(yè)收入同比增長37.95%，主要原因是公司產(chǎn)品競爭力不斷增強，收入規(guī)模持續(xù)增長。

(資料圖)

芯源微上半年研發(fā)投入7697.75萬元，同比增長80.33%，研發(fā)投入占營業(yè)收入的占比為11.07%，主要系公司持續(xù)加大研發(fā)投入，職工薪酬、研發(fā)材料增加所致。今年上半年，芯源微研發(fā)人員的數(shù)量為306人，上年同期為253人；今年上半年研發(fā)人員薪酬合計為4271.19萬元，上年同期為3126.62萬元。

半年報顯示，芯源微目前的在研項目包括前道涂膠顯影設(shè)備及核心單元研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化、高端封裝涂膠顯影設(shè)備研制、單片式濕法設(shè)備研制、核心零部件技術(shù)研發(fā)，預(yù)計總投資規(guī)模4.67億元。本期投入金額7697.75萬元，累計投入金額3.17億元。

拓荊科技今年上半年實現(xiàn)營業(yè)收入10.04億元，同比增長91.83%；實現(xiàn)凈利潤1.25億元，同比增長15.22%；扣非凈利潤6518.25萬元，同比增長32.65%；基本每股收益0.98元。

今年上半年，拓荊科技營業(yè)收入接近翻倍，主要受益于國內(nèi)晶圓廠持續(xù)擴產(chǎn)帶來的需求增加，公司在手訂單充足，產(chǎn)品線不斷完善，新產(chǎn)品在客戶端驗證通過，持續(xù)獲得更多客戶的認可。公司新產(chǎn)品及新工藝經(jīng)下游用戶陸續(xù)驗證導(dǎo)入，銷售收入放量增長。

今年上半年，拓荊科技的PECVD設(shè)備實現(xiàn)銷售收入9.08億元，較上年同期增長94.35%；HDPCVD設(shè)備、應(yīng)用于晶圓級三維集成領(lǐng)域的混合鍵合設(shè)備順利通過客戶端產(chǎn)業(yè)化驗證，實現(xiàn)了首臺的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，ALD設(shè)備、SACVD設(shè)備持續(xù)獲得客戶驗收，均實現(xiàn)銷售收入。

值得注意的是，拓荊科技今年上半年營業(yè)收入同比大增91.83%，但是凈利潤和扣非凈利潤增速均明顯不及營業(yè)收入。對此，拓荊科技表示，凈利潤和扣非凈利潤低于營業(yè)收入增長率，主要原因為本期確認股份支付費用1.26億元，剔除股份支付費用影響后，凈利潤同比增長129.15%、扣非凈利潤同比增長283.68%。

拓荊科技始終在高端半導(dǎo)體專用設(shè)備領(lǐng)域深耕，并專注于薄膜沉積設(shè)備的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，不斷開拓新產(chǎn)品，拓展工藝應(yīng)用領(lǐng)域，始終保持高強度的研發(fā)投入。據(jù)拓荊科技半年報，公司今年上半年的研發(fā)投入為2.1億元，同比增長78.77%，主要系研發(fā)人員薪酬及股份支付費用增加。

今年上半年，拓荊科技在研項目中“PECVD系列產(chǎn)品及工藝開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目”、“PE-ALD系列產(chǎn)品及工藝研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”、“Thermal-ALD系列產(chǎn)品及工藝研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”、“深溝槽填充薄膜工藝系列產(chǎn)品研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”預(yù)計總投資規(guī)模較2022年均有所增加，主要系公司圍繞客戶需求持續(xù)優(yōu)化升級、拓展工藝應(yīng)用所需研發(fā)費用增加。

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